本发明公开了一种连续协同作业式模块化光催化辅助化学机械抛光装置及方法；该装置包括机床、模块化机械抛光模块、可调式紫外光灯照射模块和抛光安装模块。模块化机械抛光模块装夹在机床的主轴上。模块化机械抛光模块包括沿着主轴的周向依次排列的多个模块化叶片。本发明在叶片状的抛光结构上方布置紫外灯，使得紫外灯射出的紫外光能够通过抛光叶片之间的缝隙照射到抛光液和试样上，从而引发光催化辅助的化学腐蚀，实现了光催化化学腐蚀与机械抛光的同时执行，避免了现有技术中先将试样置于光催化装置中处理，再置于机械抛光机床中加工的复杂操作并提高了抛光效率。同时，本发明通过相邻的模块化叶片内端相互嵌合减小安装模块化叶片的槽盘直径。
📄 2025103373651
📂 B24B37_00
👤 浙江工业大学
📅 2025-03-21
本发明公开了一种SiC单晶片的超声辅助电化学机械抛光加工装置及方法，SiC单晶片和不锈钢电极分别与脉冲电源的正极和负极相连，在抛光液中构成闭合回路，晶片作为阳极发生阳极氧化生成一层氧化膜，在通过抛光垫和磨粒机械性地去除氧化层该方法抛光材料去除效率高，机械抛光不会对SiC单晶基材造成损失；且不会消耗大量电能，节能环保，另外本发明加工装置简单，加工方法易实现，适合大范围推广使用。
📄 2019104704834
📂 H01L21_304
👤 西安理工大学
📅 2019-05-31
本发明公开了采用楔形结构抛光轮的气流辅助剪切流变抛光装置及方法；所述抛光装置包括基座，基座上设有抛光槽、抛光轮、主轴和升降机构；升降机构用于驱动抛光轮上下移动；所述抛光轮的外表面上沿周向间隔设有一组楔形结构，相邻两楔形结构之间，开设有轮通气孔；所述主轴的一端与抛光轮相连接，另一端与伺服电机相连接；所述抛光轮和主轴均为中空结构，且两者的内部相互连通；所述主轴上开设有轴通气孔，轴通气孔通过气管与气泵相连通；所述抛光槽内设有用于夹持工件的夹具以及用于搅拌抛光液的叶片搅拌轮。本发明通过气泵输出的气体压力、抛光液的流体动压以及楔形结构带来的楔形压力，提高抛光液与曲面的贴合度，达到均匀高效抛光的效果。
📄 2024115789057
📂 B24B13_01
👤 浙江工业大学
📅 2024-11-07
本发明提供一种用于聚晶类金刚石刀具的机械抛光方法，具体步骤为：利用圆弧刃抛光机对聚晶类金刚石刀具的后刀面进行抛光，得到后刀面表面粗糙度为1nm和刀具后角为10°的聚晶类金刚石刀具；根据聚晶类金刚石刀具中刃口半径的预测公式，选取抗压强度高的金属保护层；利用真空焊接机在聚晶类金刚石刀具的后刀面烧结一层金属保护层；利用平面抛光机对聚晶类金刚石刀具的前刀面进行机械抛光；根据聚晶类金刚石刀具的特性，利用化学溶解试剂对得到的聚晶类金刚石刀具后刀面上的金属保护层进行溶解，直到金属保护层从聚晶类金刚石刀具后刀面上完全脱落。本发明有效抑制刀具切削刃边缘晶粒脱落引起的崩口，从而减小聚晶类金刚石刀具的切削钝圆半径。
📄 2023100575614
📂 B23P15_30
👤 燕山大学
📅 2023-01-13
本发明提供一种纳米多晶金刚石圆弧刃车刀的化学机械抛光方法，步骤为：制备A型和B型抛光液；利用浸水状态下的玻璃盘作为粗抛抛光盘，通过夹具将纳米多晶金刚石圆弧刃车刀放于玻璃细盘上，设定粗抛工艺参数，并利用A型抛光液对纳米多晶金刚石圆弧刃车刀进行粗抛，得到切削刃钝圆半径为100mm‑200nm的纳米多晶金刚石圆弧刃车刀；选取具有惰性且硬度适中的氧化铝作为磨粒，通过夹具将纳米多晶金刚石圆弧刃车刀放于玻璃细盘上，设定精抛工艺参数，并利用B型抛光液对纳米多晶金刚石圆弧刃车刀进行抛光，得到钝圆半径小于50nm的纳米多晶金刚石圆弧刃车刀。本发明具有更高的材料去除率，得到具有锋利刃口的纳米多晶金刚石圆弧刃车刀。
📄 2023101704665
📂 B24B3_34
👤 燕山大学
📅 2023-02-27
本申请公开了一种用于光辅助化学机械抛光的载具以及抛光加工方法，载具包括光源底座、光源聚焦装置以及晶圆安装座；光源底座与晶圆安装座分别设置于光源聚焦装置的两端；光源底座用于安装在抛光机上，光源底座上安装有光源；光源聚焦装置包括防护罩、第一凸透镜以及第二凸透镜，第一凸透镜与第二凸透镜同轴间隔设置在防护罩内，防护罩内设置有驱动件，用于驱动第二凸透镜靠近或远离第一凸透镜运动；光源通过外部红外遥控开光控制其光照强度；晶圆安装座上设置有光强传感器，光强传感器用于将信号反馈至外部处理器，外部处理器将光照强度值显示在显示器上。本申请能够提高晶圆加工质量。
📄 2022108528797
📂 B24B37_34
👤 华侨大学
📅 2022-07-20
本实用新型涉及打磨抛光技术领域，提出了一种高效的机械配件打磨抛光轮，本设计在加工台顶部设有主动组件，通过齿柱转动可带动啮合在齿柱侧面上下的第二齿盘以及第一齿盘同步转动，并通过定抛光轮配合动抛光轮实现对机械配件的双面抛光工序，并且在齿柱和第二齿盘以及第一齿盘外侧设有防屑组件以此来防止抛光废屑进入转动连接，同时在主套座顶部设有可注入润滑油的注油口，相较于对比文件，本设计避免皮带传动存在打滑的情况，同时降低工作时产生的噪音；通过启动气缸伸缩端可带动第二齿盘以及位于第二齿盘底部的动抛光轮进行竖向移动，相较于对比文件，本设计可快速调整动抛光轮和定抛光轮之间间距并与当前待抛光机械配件厚度适配。
📄 2025207326373
📂 B24B29_00
👤 辉县市汇丰机械配件有限公司
📅 2025-04-17
本实用新型属于抛光设备技术领域，尤其为一种适用于复杂面的抛光轮，包括抛光盘、阻尼弹伸机构、软垫和砂布，其中，所述抛光盘包括圆形板本体，并且圆形板本体上开设有阵列分布的限位孔，所述阻尼弹伸机构设置有多个，多个所述阻尼弹伸机构设置在圆形板本体对应的限位孔上。本实用新型通过设置抛光盘、阻尼弹伸机构、软垫和砂布，砂布粘接在阻尼弹伸机构端部的软垫上，在进行有曲面的产品打磨抛光时，砂布能够随着产品表面的轮廓进行一定的伸缩，随着产品表面的轮廓轨迹进行移动，继而实现产品各个位置上的抛光加工，处理效果完善、效率高，解决了现阶段装置不能够满足曲面产品打磨的问题。
📄 2023229335455
📂 B24D13_14
👤 嘉兴祥瑛机械设备制造有限公司
📅 2023-10-31
本实用新型属于抛光轮加工技术领域，尤其为平面抛光轮加工设备，包括工作台，所述工作台的顶部固定设有两个纵向固定结构，所述工作台的顶部设有两个通槽，两个所述通槽内均活动设有两个竖杆，两组所述竖杆的顶部均固定设有夹持板，两组所述竖杆的底端均固定设有连接板，本实用新型通过设置纵向固定结构，在加工时针转动两个螺纹杆，两个螺纹杆再带动两个压板下移，当压板204的底部与抛光轮的顶部贴合后，则实现了对抛光轮的纵向固定，配合驱动结构和两个夹持板的使用，能够实现对抛光轮的双向定位，提高固定效果，能够有效放置抛光轮在加工过程中上下震动位移，保证设备的加工精度。
📄 2023226386050
📂 B24B29_02
👤 嘉兴祥瑛机械设备制造有限公司
📅 2023-09-27
本发明公开了基于双位定位原理的半导体晶片机械抛光加工装置，其结构包括抓取机构、伺服器、控制面板、立柱、抛光基座、设备主体、固定地脚，固定地脚设有四个，且通过扣合方式安装于设备主体底部，设备主体顶部前端设有控制面板，立柱设有两个，且通过扣合方式安装于设备主体左右两侧。本发明抓取机构在切换不同直径大小的晶片加工时，通过调位组件控制定位机构内的负压疏通值，且能够分别转换负压外环与负压内环的单独吸附，实现了不同直径范围的外置吸孔变换，以便于根据不同大小的晶片进行局限调整，确保了吸附力度的平均，避免造成晶片变形损坏。
📄 2019104355797
📂 B24B29_02
👤 黄彬庆
📅 2019-05-23
本实用新型公开了一种抛光轮加工用毛刺去除设备，涉及加工设备技术领域，包括桶体，所述桶体的右侧设有动力装置，所述桶体的顶部限位转动有齿圈，所述桶体内设有圆锥形抛光轮，所述齿圈的上表面固定连接有调节装置，所述调节装置包括支撑架，所述支撑架的底部与齿圈的上表面固定连接，所述支撑架的上表面开设有通孔，并通过通孔限位转动有内螺纹套，所述内螺纹套的内壁螺接有螺杆，所述螺杆的底部与圆锥形抛光轮的顶部固定连接。本实用新型，通过上述结构之间的配合使用，解决了在及时使用过程中，由于传统圆锥形抛光轮的升降调节不够方便，难以根据实际需求进行适应性的升降调节，降低了工作效率，给使用带来不便的问题。
📄 2020206368817
📂 B24B9_04
👤 烟台市高阁抛光材料有限公司
📅 2020-04-24
已申报项目
本发明属于抛光轮生产领域，尤其涉及一种叠棉抛光轮生产设备,包括移动顶梁，移动顶梁一侧设有伸缩电机，伸缩电机的输出端连接有向下的伸缩杆,伸缩杆的下端设有抛光轮挤压台；抛光轮挤压台上同心设有第二圆柱体，第二圆柱体上设有液压缸，液压缸内滑动设有活塞杆，活塞杆远离液压缸的一端设有圆形盘；圆形盘、第二圆柱体、抛光轮挤压台上沿圆周分布设有多个叠棉折弯件，活塞杆驱动带动叠棉折弯件将叠棉原料进行波浪形压缩挤压至圆饼状；梯形压块，梯形压块固设在伸缩杆的远离伸缩电机的一端，梯形压块的梯形面上均匀分布设有四个压实件；每个压实件包括转动设置在梯形压块内的滚柱压实块，滚柱压实块与叠棉表面接触后转动将叠棉进一步拍击压实。
📄 2022100410000
📂 B24D18_00
👤 张运祥
📅 2022-01-14
柿子坊 · 知识产权运营
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