发明专利 已授权

采用楔形结构抛光轮的气流辅助剪切流变抛光装置及方法

📄 申请号:CN202411578905.7 📄 发布日:2026/06/29

著录项目信息

申请日
2024-11-07
公开号
CN119347585B
公开日
2025-09-02
申请人
浙江工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号

技术画像

应用场景

精密制造, 模具抛光, 光学元件加工, 航空航天零件加工, 半导体晶圆抛光

摘要

本发明公开了采用楔形结构抛光轮的气流辅助剪切流变抛光装置及方法;所述抛光装置包括基座,基座上设有抛光槽、抛光轮、主轴和升降机构;升降机构用于驱动抛光轮上下移动;所述抛光轮的外表面上沿周向间隔设有一组楔形结构,相邻两楔形结构之间,开设有轮通气孔;所述主轴的一端与抛光轮相连接,另一端与伺服电机相连接;所述抛光轮和主轴均为中空结构,且两者的内部相互连通;所述主轴上开设有轴通气孔,轴通气孔通过气管与气泵相连通;所述抛光槽内设有用于夹持工件的夹具以及用于搅拌抛光液的叶片搅拌轮。本发明通过气泵输出的气体压力、抛光液的流体动压以及楔形结构带来的楔形压力,提高抛光液与曲面的贴合度,达到均匀高效抛光的效果。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20250902
✅ 授权
20250218
?? 实质审查的生效 :
20250124
📄 公开

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