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2025/10/23
2024-01-09
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2023216923073
实用新型
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一种石英坩埚的打磨装置
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IPC分类号：
B24B19/22
所属领域：石英坩埚加工 机械自动化设备
应用场景：石英坩埚表面处理;光伏或半导体产业中的石英坩埚制造工艺
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已下证 |
是 |
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2025/10/23
2023-11-24
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2023216922916
实用新型
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一种石英坩埚的夹持工装
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IPC分类号：
B24B41/06
所属领域：材料加工 工业自动化设备
应用场景：太阳能级硅材料生产中的石英坩埚搬运与固定; 高温晶体生长设备的辅助工装
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已下证 |
是 |
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2025/10/13
2025-04-11
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2024213132277
实用新型
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一种用于晶体硅太阳能电池生产的石英舟
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IPC分类号：
H01L21/673
所属领域：晶体硅太阳能电池制造 半导体材料加工 工业炉窑设备
应用场景：直拉单晶硅棒生产；太阳能电池片制备；高温石英承载装置优化
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已下证 |
否 |
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2025/10/13
2025-02-25
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2024212668766
实用新型
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一种适用于石英舟的安全高效清洗装置
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IPC分类号：
B08B9/28
所属领域：半导体制造设备清洗技术 石英材料处理工艺
应用场景：光伏或半导体产业中石英舟的化学清洗；解决传统清洗方式存在的安全隐患及效率低下问题
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已下证 |
否 |
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2025/10/13
2025-04-08
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2024211902380
实用新型
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一种石英舟翻转机构
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IPC分类号：
H01L21/677
所属领域：半导体制造设备 自动化机械装置
应用场景：用于光伏或半导体生产过程中的石英舟自动翻转操作，解决传统人工翻转效率低、易污染的问题；适用于高温工艺后的石英舟快速冷却及定向转移场景。
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已下证 |
否 |
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2025/10/13
2025-01-24
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2024211115436
实用新型
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一种多支撑倾斜式石英舟
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IPC分类号：
H01L21/673
所属领域：材料制备 半导体制造设备
应用场景：光伏或半导体生产中石英舟的高温加工场景;减少热应力导致的石英舟变形问题
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已下证 |
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2025/10/13
2025-01-24
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2024210581471
实用新型
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一种石英舟卷边自动测量装置
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IPC分类号：
G01B21/30
所属领域：工业自动化检测 光伏设备制造
应用场景：光伏单晶硅片生产过程中的石英舟卷边质量检测；半导体制造中的石英器件边缘测量
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已下证 |
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2025/10/13
2025-01-24
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2024205521610
实用新型
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一种晶圆热处理用石英舟
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IPC分类号：
H01L21/673
所属领域：半导体制造 热处理设备
应用场景：晶圆热处理工艺中的高温加工;提升石英舟使用寿命与均匀性控制
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已下证 |
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2025/10/13
2024-10-22
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2024204963939
实用新型
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石英舟自动测量装置
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IPC分类号：
G01B21/02
所属领域：工业自动化检测 半导体制造设备
应用场景：半导体生产过程中石英舟尺寸及形状的自动化检测;光伏产业中石英容器的质量监控
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已下证 |
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2025/10/13
2024-07-30
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2023230100802
实用新型
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一种点接触半导体石英舟加工装置
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IPC分类号：
B24B19/22
所属领域：半导体制造设备 机械加工技术
应用场景：半导体晶体生长过程中的石英舟加工；高精度点接触式加工场景
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2025/10/13
2024-05-28
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2023226170234
实用新型
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双轴式石英舟加工用研磨装置
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IPC分类号：
B02C18/10
所属领域：机械加工 半导体制造设备
应用场景：石英舟的高精度平面研磨;光伏或半导体行业中的石英部件加工
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2025/10/13
2024-05-28
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2023225502355
实用新型
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立式氧化炉用石英舟旋转支撑装置
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IPC分类号：
F27D3/12
所属领域：半导体制造设备 石英材料加工
应用场景：半导体芯片制造中的氧化工艺；提升石英舟使用寿命和生产效率
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2025/10/13
2024-05-28
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2023224658578
实用新型
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一种匀流型石英舟托
复制
IPC分类号：
H01L21/687
所属领域：半导体制造设备 光伏材料加工
应用场景：用于多晶硅或单晶硅生产过程中的石英舟固定与气流均匀分布控制;提升晶体生长均匀性，减少工艺缺陷
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2025/10/13
2024-05-28
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2023223944360
实用新型
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一种密齿立式石英舟
复制
IPC分类号：
C23C16/458
所属领域：半导体制造设备 石英制品加工
应用场景：光伏或半导体生产中的晶体生长工艺；高温化学气相沉积场景
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2025/10/13
2024-05-31
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2023223139738
实用新型
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一种多层级立式石英舟
复制
IPC分类号：
B08B13/00
所属领域：半导体制造设备 光伏材料加工
应用场景：用于高温下晶体生长工艺中的硅料承载与传输;解决传统石英舟易变形、载量低及热场均匀性差的问题
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