实用新型已授权

一种适用于石英舟的安全高效清洗装置

📄 申请号：CN202421266876.6 📄 发布日：2025/10/13

著录项目信息

申请日

2024-06-05

公开号

CN222519459U

公开日

2025-02-25

申请人

连云港亮迪石英科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B08B9_28

IPC 分类号

B08B9_28 , B08B9_36 , B08B13_00 ,

技术画像

所属领域

清洗装置半导体清洗设备晶圆承载装置清洗工艺清洗装置

应用场景

集成电路制造, 晶圆加工, 光伏电池制造, 半导体设备维护

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摘要

本实用新型公开了一种适用于石英舟的安全高效清洗装置，包括水槽和装在水槽内的沥水隔板，沥水隔板上方的水槽为清洗腔，沥水隔板下方的水槽为储水腔，沥水隔板上并排设置有若干沥水口，每个沥水口处安装有清洗辊；相邻清洗辊之间的清洗腔内并排设有若干竖向隔板，竖向隔板插装在沥水隔板上，清洗腔通过竖向隔板分隔有若干用于放置单个石英舟的清洗室，在所述水槽外壁上安装有清洗辊的驱动机构。本实用新型通过设单个清洗石英舟的清洗室，在批量清洗石英舟时避免石英舟间的碰撞，既具有清洗功能，又具有保护功能；通过设沥水隔板，将石英舟置于其上，便于与带硅胶刷毛的清洗辊进行洗刷工作，清洗更彻底。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种防滑耐油珍珠棉

当前第 / 件

一种用于晶体硅太阳能电池生产的石英舟

同领域国内专利 · IPC: (B08B9_28)

B08B9_00 B08B9_02 B08B9_023 B08B9_027 B08B9_032 B08B9_035 B08B9_04 B08B9_043 B08B9_045 B08B9_047 B08B9_049 B08B9_051 B08B9_053 B08B9_055 B08B9_057 B08B9_08 B08B9_087 B08B9_093 B08B9_20 B08B9_22 B08B9_24 B08B9_28 B08B9_30 B08B9_32 B08B9_34 B08B9_36 B08B9_38 B08B9_42 B08B9_44 覆盖29个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：137 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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