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| 专利/申请号： | CN202322550235.5 | 专利名称： | 立式氧化炉用石英舟旋转支撑装置 |
| 申请日： | 2023-09-20 | 申请/专利权人 | 连云港亮迪石英科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 江苏省连云港市东海县驼峰乡311省道北侧连云港波德利实业有限公司院内东西两栋三层楼房 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | F27D3/12 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2024-05-28 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN221036797U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 3 | 所属领域： | 半导体制造设备 石英材料加工专利转让搜索 |
应用场景：半导体芯片制造中的氧化工艺；提升石英舟使用寿命和生产效率
摘 要：一种立式氧化炉用石英舟旋转支撑装置，包括用于与立式氧化炉底部配合的主体支撑架，在主体支撑架上安装有竖向设置的支撑筒和用于驱动支撑筒竖向往复移动的竖向驱动设备，在主体支撑架与支撑筒的连接处还安装有往复式动密封；在支撑筒内转动安装有支撑轴，支撑轴的上下两端分别从支撑筒的上下两侧伸出，在支撑筒的内侧安装有与支撑轴配合的旋转式动密封，在支撑筒的外侧安装有用于驱动支撑轴转动的旋转驱动设备，在支撑轴的上端还固定安装有横向设置的支撑板，在支撑板上设置有便于石英舟放置的支撑凹槽。本申请能够使硅片进行全面均匀充分受热，有助于保证硅片产品质量，满足对硅片的生产要求。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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