实用新型已授权

立式氧化炉用石英舟旋转支撑装置

Name: 立式氧化炉用石英舟旋转支撑装置
Brand: 连云港亮迪石英科技有限公司
SKU: 2023225502355
Availability: InStock

📄 申请号：CN202322550235.5 📄 发布日：2025/10/13

著录项目信息

申请日

2023-09-20

公开号

CN221036797U

公开日

2024-05-28

申请人

连云港亮迪石英科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F27D3_12

IPC 分类号

F27D3_12 , H01L21_687 , H01L21_673 , H01L21_67 ,

技术画像

所属领域

支撑装置半导体制造设备晶圆热处理设备旋转传动机构支撑装置

应用场景

集成电路制造, 晶圆氧化工艺, 晶圆扩散工艺, 半导体热处理, 光伏电池片制造

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摘要

一种立式氧化炉用石英舟旋转支撑装置，包括用于与立式氧化炉底部配合的主体支撑架，在主体支撑架上安装有竖向设置的支撑筒和用于驱动支撑筒竖向往复移动的竖向驱动设备，在主体支撑架与支撑筒的连接处还安装有往复式动密封；在支撑筒内转动安装有支撑轴，支撑轴的上下两端分别从支撑筒的上下两侧伸出，在支撑筒的内侧安装有与支撑轴配合的旋转式动密封，在支撑筒的外侧安装有用于驱动支撑轴转动的旋转驱动设备，在支撑轴的上端还固定安装有横向设置的支撑板，在支撑板上设置有便于石英舟放置的支撑凹槽。本申请能够使硅片进行全面均匀充分受热，有助于保证硅片产品质量，满足对硅片的生产要求。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN221036797U

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种可针对多种厚度的纸质包装用切角机

当前第 / 件

双轴式石英舟加工用研磨装置

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