实用新型 已授权

一种石英坩埚的夹持工装

📄 申请号:CN202321692291.6 📄 发布日:2025/10/23

著录项目信息

申请日
2023-06-30
公开号
CN220074376U
公开日
2023-11-24
申请人
新沂市中鑫光电科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

光伏制造, 半导体制造, 单晶硅拉制, 石英坩埚加工, 自动化生产线

摘要

本实用新型公开了一种石英坩埚的夹持工装,涉及石英坩埚夹持技术领域。包括防滑底座,所述防滑底座的顶部固定连接有加工台,所述加工台的一侧安装有控制面板,所述加工台的内部安装有传动机构,所述传动机构的顶部安装有夹持机构,所述夹持机构的顶部设置有石英坩埚本体,所述加工台顶部的一侧固定安装有第一支撑架,所述第一支撑架的表面固定安装有边缘打磨组件;本实用新型能够对石英坩埚进行夹持处理,有利于对石英坩埚的表面进行夹持限位,并且能够对石英坩埚进行压持固定,提高石英坩埚夹持固定的效果,降低石英坩埚加工过程中出现晃动或者移位的概率,提高石英坩埚加工过程中的稳定性,提升石英坩埚后续的加工质量。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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