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实用新型
已授权
一种石英坩埚的夹持工装
📄 申请号:CN202321692291.6
📄 发布日:2025/10/23
著录项目信息
申请日
2023-06-30
公开号
CN220074376U
公开日
2023-11-24
申请人
新沂市中鑫光电科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
B24B41_06
IPC 分类号
B24B41_06
,
B24B19_22
,
B24B27_00
,
B24B27_02
,
技术画像
所属领域
坩埚
工装夹具
夹持机构
机械结构
坩埚
应用场景
光伏制造, 半导体制造, 单晶硅拉制, 石英坩埚加工, 自动化生产线
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摘要
本实用新型公开了一种石英坩埚的夹持工装,涉及石英坩埚夹持技术领域。包括防滑底座,所述防滑底座的顶部固定连接有加工台,所述加工台的一侧安装有控制面板,所述加工台的内部安装有传动机构,所述传动机构的顶部安装有夹持机构,所述夹持机构的顶部设置有石英坩埚本体,所述加工台顶部的一侧固定安装有第一支撑架,所述第一支撑架的表面固定安装有边缘打磨组件;本实用新型能够对石英坩埚进行夹持处理,有利于对石英坩埚的表面进行夹持限位,并且能够对石英坩埚进行压持固定,提高石英坩埚夹持固定的效果,降低石英坩埚加工过程中出现晃动或者移位的概率,提高石英坩埚加工过程中的稳定性,提升石英坩埚后续的加工质量。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种可快速更换模块的夹紧工具钳头
当前第 / 件
一种石英坩埚的打磨装置
同领域国内专利 · IPC: (B24B41_06)
B24B41_00
B24B41_02
B24B41_04
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覆盖
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