本实用新型涉及气相沉积设备技术领域,且公开了一种用于化学气相沉积的导管高效清洗装置,包括支撑升降机构和清洗机构,清洗机构活动安装于支撑升降机构表面中心位置,支撑升降机构设置于清洗机构外表面四周。本实用新型通过清扫刷外表面与卡接槽外表面位置相对应,启动驱动电机,转轴转动,带动传送带运行,传送带内壁与转动杆外表面接触,可有效带动转动杆同步转动,工作人员将导管卡接在卡接槽位置,并通过外界设备对支撑板的高度进行调整,让转动套杆下降至导管内部,开设的散水孔将水箱中的水引入到导管中,在转动套杆转动有效让清扫刷在导管内部转动清扫,可对导管内腔清洗干净,提高工作效率。
📄 2022226537287
📂 B08B9_027
👤 广州市鸿浩光电半导体有限公司
📅 2022-10-09
本实用新型提供一种等离子沉积设备,涉及等离子沉积技术领域,包括设备本体,所述设备本体的顶部靠近一侧边缘处固定有控制箱,所述设备本体的顶部靠近另一侧边缘处固定有沉积盒,所述沉积盒的顶部开设有反应室,所述反应室的内部底面沿圆周方向开设有四个滑道,所述反应室的内壁延圆周方向等距固定有四个第一弹簧,四个所述第一弹簧的一端均焊接有弧形板,四个所述弧形板的底部均对应滑动连接在滑道的内部,本实用新型,通过在等离子沉积设备内部设置弧形板,配合弹簧从而可以固定不同大小的物体,解决了传统的等离子沉积设备没法根据现场实际情况固定不同大小的物体,给等离子沉积设备的使用造成了一定局限性的问题。
📄 2022219098406
📂 C23C16_513
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📅 2022-07-21
本实用新型提供一种耐火金属抓取装置,涉及金属锻造技术领域,包括中转杆,所述中转杆的数量为两个,所述中转杆的一端固定连接有防滑把手。本实用新型,通过挤压外板、破碎凸杆以及挤压弹簧的设置,在使用时,通过挤压弹簧的挤压,使得挤压外板将钢珠与煤炭夹起,随后通过挤压中转杆,使得挤压外板朝向限位侧槽的方向滑动,从而使得挤压弹簧被挤压,使得挤压弹簧对挤压外板的挤压力增加,从而通过破碎凸杆将煤炭挤压破碎,随后可通过晃动夹持壳,使得破碎的煤炭从下流通孔内流出,从而使得夹持壳内剩下钢珠,从而使得钢珠的取出较为快速,从而增加锻造的效率,通过夹持壳的包裹,与下流通孔的开设,可对煤炭进行限位,从而防止烫伤操作人员。
📄 2022219096449
📂 B21K29_00
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📅 2022-07-20
本实用新型公开了沉积炉技术领域的一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉,包括加热室,所述加热室的内部固定安装有反应室,所述加热室和反应室之间固定安装有加热器,本实用新型通过预储罐的设置,能够将混合后的气体通过进气泵添加到其中,并且通过开合组件的控制,使预储罐中的混合气体进入到反应室中,当反应室内部气压产生变化的时候,气压过高时,可将多余的气体输送到回收罐中,气压过低时,回收罐中的气体会再次回流到反应室中,从而使反应室内部的气压始终保持最佳的反应状态,并且在气压变动的时候,输送的气体仍然为最开始的混合气体,因此不会使气体的性质发生改变,从而不会对反应造成影响。
📄 2022218944845
📂 C23C16_44
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📅 2022-07-21
本实用新型公布了一种可清洗的液体蒸发器供料器,包括蒸发器主体,蒸发器主体的上方设有供料罐,供料罐底部与蒸发器主体之间连通有供料管道,供料管道的下端安装有第一电动阀,供料管道的上端安装有导料机构,供料管道的管壁下部连通有排污管,排污管上安装有第二电动阀,供料罐的外壁连接有电动推杆,电动推杆的顶部活动端连接有压盖,压盖的中心转动连接有旋转杆,旋转杆的底部中心可拆卸连接有清洗机构;本实用新型结构设计合理,便于进行后续蒸发操作,清洁刷能够对供料罐内壁进行清洗避免出现附着残留,达到了良好的清洗效果,便于对清洁刷进行维护更换,方便实用。
📄 2022218902221
📂 B01D1_00
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📅 2022-07-20
本实用新型公开了气相沉积技术领域的一种去除CVD反应腔体内壁沉积膜的装置,包括底座,所述底座的顶部焊接有竖梁,所述竖梁的内壁转动连接有螺纹杆,所述底座内腔的顶部固定安装有第一电机,所述第一电机的输出轴与螺纹杆的底部固定安装,本实用新型通过第二电机来驱动转管进行旋转,并且通过转管来带动刮板转动,使刮板对反应室的内壁进行刮洗,将附着在反应室内壁上的沉积膜刮除,同时在抽气机的作用下,掉落在反应室内部的沉积膜会被抽取到收集盒中进行收集,而且抽气机排出的气体能够辅助刮板再次对反应室的内壁进行冲刷,进一步提升清洗洁净度,从而解决了附着牢固沉积物无法清理的问题,非常值得推广。
📄 2022218895340
📂 C23C16_44
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📅 2022-07-20
本实用新型公开了晶圆加工技术领域的一种等离子体CVD晶圆用表面修磨装置,包括箱体,所述箱体内腔的底部固定安装有配件盒,本实用新型第一电机带动主动轮旋转,并且通过主动轮和从动轮的配合来使链条进行转动,从而使链条带动滑轴进行移动,在滑轴移动的时候,能够带动活动板移动,进而通过活动板带动平台做左右往复运动,并且在第三电机的作用下带动拨杆进行旋转,拨杆带动拨板前后摆动,从而通过拨板的作用带动齿轮正反转,齿轮带动盒体以及安装在盒体的晶圆载具做前后往复运动,并且晶圆载具在第二电机的作用下进行旋转,能够使晶圆与打磨垫的各个位置进行接触,避免对打磨垫造成浪费。
📄 2022218817801
📂 B24B37_10
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📅 2022-07-20
本实用新型提供一种沉积高温氧化物的低压化学沉积设备,涉及化学沉积技术领域,包括底板,所述底板的顶部靠近一侧边缘处固定有存储箱,所述底板的顶部靠近另一侧边缘处固定有蒸发箱,所述底板的顶部位于存储箱的一侧和蒸发箱的一侧之间固定有反应器本体,所述反应器本体的顶部固定有沉积盒,所述沉积盒的一侧中心处焊接有固定块,所述固定块的一侧中心处开设有凹槽,所述凹槽的内部底面固定有两个弹簧,本实用新型,通过在设备顶部设置显示灯,使得通过灯光颜色向人们传达设备内蒸汽的排放情况,解决了传统的化学沉积设备无法显示内部蒸汽具体的排放程度,导致设备内部的蒸汽排放不干净,给人们的工作带来了困难的问题。
📄 2022218495263
📂 C23C18_16
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📅 2022-07-18
本实用新型提供一种PECVD双面沉积设备,涉及太阳能技术领域,包括石墨盘,石墨盘的一侧表面等距开设有多个装载槽,石墨盘的上表面固定连接有多个支撑块,四个支撑块为一组,每组支撑块的内侧表面均固定连接有两个电动伸缩杆。本实用新型,使用时,两个电动伸缩杆呈180°固定,两个电动伸缩杆拉动两个受力件向外侧移动,两个受力件通过四个支撑柱带动导力件同步移动,两个滑杆限制导力件的移动轨迹,再利用外部机械手吸附硅片放入装载槽的内部,两个电动伸缩杆推动两个受力件相互靠近,带动两个导力件复位,两个受力件与两个导力件通过内侧固定的夹板将硅片夹持,避免长时间适用后导致石墨盘磨损,固定效果好,能够匹配不同规格的硅片。
📄 2022218421908
📂 C23C16_50
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📅 2022-07-18
本实用新型公开了晶片加工技术领域的一种晶片支撑夹紧结构,包括底座,所述底座的上方设置有承载板,所述承载板的顶部固定安装有安装板,所述安装板的内腔滑动连接有齿板,所述齿板的顶部固定安装有连接块,所述连接块的顶部焊接有方形夹块,所述方形夹块的两端均铰接有圆形夹块,本实用新型通过圆形夹块和方形夹块的设置,能够对不同形状的晶片进行夹持,并且在该夹具中,圆形夹块和方形夹块的位置均可以在安装板上进行调整,因此能够对不同尺寸的晶片进行夹持,从而满足巨大部分晶片的夹持需求,而且该夹具中还设置有圆形杆,能够在夹持晶片的过程中,将其托起,避免在加工时,通过下压力的作用使晶片产生歪斜。
📄 2022217390122
📂 H01L21_687
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📅 2022-07-06
本实用新型公开了液体蒸发器技术领域的液体蒸发器供料器的定量投放机构,包括底座、供料罐和盖板,盖板上设有转动轴,转动轴上设有搅拌电机、驱动齿轮和搅拌叶,盖板的底面沿圆周方均匀固定有多个安装架,安装架上设有转动盘,转动盘上均匀设有多个定量槽,且盖板的顶面对应设有多个储料筒,本实用新型通过搅拌电机以及驱动齿轮和多个齿圈的传动,使多个转动盘同时转动,定量槽通过料孔添加物料,并转动至落料口处下料,从而实现物料的定量添加;物料进入供料罐中后,转动轴带动搅拌叶转动,加料和混合同时进行,通过搅拌和多种物料充分混合,当不需要添加物料后,关闭储料筒底部料管中的阀门,使物料不在进入定量槽中。
📄 2022217270737
📂 B01D1_00
👤 广州市鸿浩光电半导体有限公司
📅 2022-07-05
本实用新型提供一种化学气相沉积室清洗装置,涉及化学气相沉积室技术领域,包括外壳,所述外壳的顶部固定连通有加剂管,所述加剂管远离外壳的一侧固定连接有塞子。本实用新型,打开加剂管上的塞子,对加剂管中进行加装清洁剂,抓住握把并轻轻用力对压板向握把的方向进行挤压,清洗棉对清洁剂进行吸收,清洗剂从清洗棉中挤出与化学气相沉积室的内壁相接触,清洗棉与化学气相沉积室的内壁进行摩擦清洗,通过对外壳的内部进行加装清洗剂,利用清洗棉对化学气相沉积室的内壁进行清洗,避免工作人员直接徒手操作与清洁剂相接触,提高工作人员手部受到损坏的概率,提高对工作人员的生命安全保护措施。
📄 2022216914915
📂 B08B9_087
👤 广州市鸿浩光电半导体有限公司
📅 2022-07-01