实用新型已授权

一种用于化学气相沉积的导管高效清洗装置

Name: 一种用于化学气相沉积的导管高效清洗装置
Brand: 广州市鸿浩光电半导体有限公司
SKU: 2022226537287
Availability: InStock

📄 申请号：CN202222653728.7 📄 发布日：2026/09/28

著录项目信息

申请日

2022-10-09

公开号

CN218395132U

公开日

2023-01-31

申请人

广州市鸿浩光电半导体有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B08B9_027

IPC 分类号

B08B9_027 , B08B9_032 ,

技术画像

所属领域

化学气相沉积设备化学气相沉积设备工业清洗设备管道清洗技术

应用场景

半导体制造, 薄膜沉积, 化学气相沉积, 设备维护, 管道清洗

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摘要

本实用新型涉及气相沉积设备技术领域，且公开了一种用于化学气相沉积的导管高效清洗装置，包括支撑升降机构和清洗机构，清洗机构活动安装于支撑升降机构表面中心位置，支撑升降机构设置于清洗机构外表面四周。本实用新型通过清扫刷外表面与卡接槽外表面位置相对应，启动驱动电机，转轴转动，带动传送带运行，传送带内壁与转动杆外表面接触，可有效带动转动杆同步转动，工作人员将导管卡接在卡接槽位置，并通过外界设备对支撑板的高度进行调整，让转动套杆下降至导管内部，开设的散水孔将水箱中的水引入到导管中，在转动套杆转动有效让清扫刷在导管内部转动清扫，可对导管内腔清洗干净，提高工作效率。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN218395132U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：11 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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📊 出价记录 (3条)

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