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摘 要:本发明公开一种水基微电子剥离清洗组合剂,包括去离子水、杜邦EKC剥离液、亚仕兰ACT940剥离液、STRIPPER N311剥离液、安集idealclean960清洗液、过氧化氢、过硫酸钠、极性溶剂、腐蚀抑制剂,该组合剂各组分的重量份数为:去离子水75‑85重量份、杜邦EKC剥离液8‑12份、亚仕兰ACT940剥离液6‑10重量份、STRIPPER N311剥离液2‑6重量份、安集idealclean960清洗液3‑6重量份、过氧化氢5‑9重量份、过硫酸钠4‑7重量份、极性溶剂5‑10重量份、腐蚀抑制剂2‑5重量份。本发明具有操作温度低,有效剥离,不会对基底造成腐蚀,可用水直接漂洗,安全环保,降低清洗成本的特点。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201810771473.X | 专利名称: | 一种水基微电子剥离清洗组合剂 |
申请日: | 2018-07-13 | 申请/专利权人 | 安徽建筑大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 安徽省合肥市金寨路856号安徽建筑大学 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/02搜分类 清洗搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 15000.0元 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |