一种alpha相氧化镓薄膜的制备方法

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摘     要：一种alpha相氧化镓薄膜的制备方法，包括如下步骤：对m面蓝宝石衬底进行清洗，吹干后放入衬底托盘；将衬底载入真空室，待真空室的真空度达到3×10‑6 Pa后，通入高纯氩气，气体流量控制在40 sccm，调节真空室真空度为1Pa；对高纯Ga2O3陶瓷靶材进行预处理；采用磁控溅射法在衬底上沉积薄膜，衬底温度为25摄氏度，射频功率设置为40W，沉积时间为2小时；将制备好的薄膜放入管式炉中进行后退火处理，后退火温度为500‑800摄氏度，退火时间为2小时。本发明方法制备的alpha相氧化镓薄膜沉积面积大且粒径分布均匀。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注

• 申请号	专利名称	发布日期
  2022101428069	【发明】一种旋转式中间预热磁控溅射靶装置	2025/10/11
  202111499911X	【发明】一种高分子材料表面增亮耐磨镀膜工艺及其制得的光学镀膜	2025/10/11
  2021102006464	【发明】一种微波介质陶瓷表面镀银的PVD工艺	2025/10/11
  2020108191892	【发明】一种用于氢燃料电池金属双极板的超低电阻耐腐蚀涂层的制备工艺	2025/10/11
  2019111330099	【发明】一种3C铝制件表面处理的PVD真空镀膜工艺	2025/10/11
  202210891402X	【发明】一种超硬膜层制造方法	2025/10/11
  2017105328247	【发明】SiZrCN梯度复合涂层刀具及其制备方法	2025/09/29
  2017105328213	【发明】AlNbCN多元梯度复合涂层刀具及其制备方法	2025/09/29
  2017105328035	【发明】SiNbC/SiNbCN叠层复合涂层刀具及其制备工艺	2025/09/29
  202323488313X	【实用新型】一种光学瞄准镜镜片加工用镀膜装置	2025/09/29