发明专利已授权

一种复合差动支链的并联式三自由度精密微动机构及其工作方法

📄 申请号：CN202011638158.3 📄 发布日：2026/07/31

著录项目信息

申请日

2020-12-31

公开号

CN112865592B

公开日

2022-06-24

申请人

合肥名龙电子科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H02N2_02

IPC 分类号

H02N2_02 , H02N2_04 ,

技术画像

所属领域

并联机构并联机构精密微动机构运动控制与驱动

应用场景

精密定位, 微纳制造, 光学对准, 半导体设备, 精密测量仪器

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摘要

本发明公开了一种复合差动支链的并联式三自由度精密微动机构及其工作方法，三自由度精密微动机构包括三组柔性驱动单元和一个输出块，所述输出块位于三组柔性驱动单元的中心位置，每一组柔性驱动单元包括一个压电陶瓷驱动器和一个受所述压电陶瓷驱动器驱动的驱动块，所述驱动块的两侧分别由一个平行四边形柔性铰链结构进行定位，每相邻的两个驱动块的边缘通过z字型铰链连接于一个中间块上，每一个中间块通过一个半圆形铰链连接于所述输出块上。具有承载能力强，抗干扰能力强的特点。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230131

?? 专利权的转移：

20220624

✅ 授权

20210615

?? 实质审查的生效：

20210528

📄 公开

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