一种集成电路晶圆涂膜装置

摘     要：本实用新型公开了一种集成电路晶圆涂膜装置，包括底座、涂膜机构、固定机构，所述底座下方设置有支撑腿，所述底座上方设置有收集框，所述收集框一边角设置有收集管，所述收集框上方设置有加工台，所述加工台前后侧均设置有所述固定机构，所述固定机构包括第二电动伸缩杆，第二电动伸缩杆伸缩端设置有固定板，所述加工台上方设置有所述涂膜机构，所述涂膜机构包括气缸，所述涂膜机构前后侧均设置有支撑座，所述加工台一侧设置有烘干机构。其有益效果在于：本实用新型通过所述固定机构对晶圆进行固定，防止涂膜不均匀，通过烘干机构进行快速成型，提高成品率，通过收集管进行回收处理，防止资源浪费。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2022/10/14	授权