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| 专利/申请号： | CN201910946233.3 | 专利名称： | 一种芯片生产用离子注入设备【特价】 |
| 申请日： | 2019-10-03 | 申请/专利权人 | |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | H01J37/317 分类检索 |
| 公开/公告日： | 转让价格： | 【平台担保交易】 | |
| 公开/公告号： | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 | |
| 浏览量： | 39 | 所属领域： | 集成电路专利转让搜索 |
摘 要：本发明涉及芯片生产技术领域，且公开了一种芯片生产用离子注入设备，包括壳体，所述壳体内部下端固定安装有支撑架，支撑架的上端固定安装有固定壳，固定壳内部的下端固定安装有固定块，固定块上表面的凸出处滑动连接有活动柱，所述固定壳的内部固定安装有刻度板，刻度板的正面滑动搭接有活动杆。通过离子发生器、固定板、密封球、喷射壳、喷射头与固定横杆的配合使用，可以有效的将离子发生器内的离子均匀的分布在喷射壳内部的两端，具备可将离子均匀的打在半导体上的优点，保证了半导体上的离子尽可能的均匀分布一直，避免了传统喷射工艺中，喷出的来的离子在半导体上，呈中间多，四周少的情况。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2021/12/28 | 授权 | |
| 2021/12/21 | 专利申请权的转移 | 登记生效日: 2021.12.09 申请人由冯聪变更为山东昆仲信息科技有限公司 地址由830017 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市水磨沟区西虹东路变更为276000 山东省临沂市高新区创新大厦A510室 |
| 2020/01/14 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): H01J 37/317 专利申请号: 201910946233.3 申请日: 2019.10.03 |
| 2019/12/20 | 公开 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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