发明专利已授权

一种基于滑轨式侧翻原理的多段式半导体晶棒的切割机

Name: 一种基于滑轨式侧翻原理的多段式半导体晶棒的切割机
Brand: 南安市建胤机械科技有限公司
SKU: 2019105641546
Price: 15000.0 CNY
Availability: InStock

📄 申请号：CN201910564154.6 📄 发布日：2026/08/03

著录项目信息

申请日

2019-06-26

公开号

CN110370478A

公开日

2019-10-25

申请人

南安市建胤机械科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B28D5_02

IPC 分类号

B28D5_02 , B28D7_04 , B28D7_00 ,

技术画像

所属领域

切割机切割机

应用场景

半导体材料加工, 硅片制造, 集成电路制造, 光伏电池制备

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摘要

本发明公开了一种基于滑轨式侧翻原理的多段式半导体晶棒，其结构包括切割主机、散热槽、控制器、固定支脚、检修门、设备主体、加工台面。本发明工件经过贯穿稳定组件后放置在侧衬条内，启动设备后稳定组件通过送料转轴带动工件分段前进，配合切割主机进行切割，加工产生的晶圆通过侧翻机构内的挑高板与引导板进行直立引导，最终立滚导轨与缓冲脚仔将其缓速导出，整体使用后有效确保了晶圆的质量，避免出料过程中磕碰损坏，且切割过程中对晶棒首尾都具备了稳定的限位控制，最大化降低了晶圆厚度的误差变量。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20210903

✅ 授权

20191122

?? 实质审查的生效：

20191025

📄 公开

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：43 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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