实用新型已授权

一种涂胶显影机的涂胶装置

Name: 一种涂胶显影机的涂胶装置
Brand: 如东汇盛通半导体科技有限公司
SKU: 2022229287936
Availability: InStock

📄 申请号：CN202222928793.6 📄 发布日：2026/11/10

著录项目信息

申请日

2022-11-03

公开号

CN218531584U

公开日

2023-02-28

申请人

如东汇盛通半导体科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B05C5_02

IPC 分类号

B05C5_02 , B05C13_02 , B05C11_08 , B08B3_02 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备光刻工艺设备精密涂覆

应用场景

集成电路制造, 晶圆光刻, 光刻胶涂覆, 半导体加工, 微电子制造

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摘要

本实用新型公开了一种涂胶显影机的涂胶装置，所述旋转主轴外部套装固定有固定套，所述旋转主轴的上端从固定套中露出且，所述旋转主轴上还固定有清洗盘，所述清洗盘处于真空吸盘的下方，所述清洗盘上设置有清洗液喷淋环槽，所述清洗盘的侧壁上设置有与清洗液喷淋环槽连通的清洗孔，所述清洗孔朝向涂胶腔体的侧壁，所述固定套上固定有与清洗液供液管路连通的出液嘴，所述出液嘴伸入所述清洗液喷淋环槽内将清洗液喷入清洗液喷淋环槽内，所述涂胶腔体的腔体设置有排液口；该装置能对不同尺寸的硅片完成涂胶，并且无需对装置进行拆解就能完成对涂胶腔体的侧壁进行清洗，大大提高了清洗效率和生产效率。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN218531584U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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同领域国内专利 · IPC: (B05C5_02)

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：3 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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