发明专利 已授权

方形盒状三维探测器及其制备方法

📄 申请号:CN201910255450.8 📄 发布日:2026/09/11

著录项目信息

申请日
2019-04-01
公开号
CN110010590A
公开日
2019-07-12
申请人
湖南正芯微电子探测器有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

辐射成像, 安全检查, 工业无损检测, 医疗影像, 粒子物理实验

摘要

本发明公开了一种方形盒状三维探测器及其制备方法,探测器由数个探测单元排列而成,探测单元包括底部的芯片基底,芯片基底上固定有壳形电极,壳形电极包括底面和侧壁,壳形电极内部填充有探测基体,探测基体顶部中间镶嵌有中央收集电极,中央收集电极与壳形电极顶部附有金属层,探测基体顶部附有氧化层;探测器的制备包括以下步骤:清洗、氧化、刻蚀芯片基底,离子注入壳形电极底面,生长硅探测基体,刻蚀沟槽,扩散形成壳形电极侧壁,离子注入中央收集电极,附着金属层和氧化层,退火和封装;探测器的位置分辨率、能量分辨率和电荷收集效率提高,探测器的全耗尽电压低,能够使用电池进行驱动,携带方便,且能够双面检测入射粒子,工作效率高。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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