发明专利已授权

一种尺蠖粘滑混合驱动式压电直线驱动器及安装工艺

📄 申请号：CN202011185106.5 📄 发布日：2026/09/07

著录项目信息

申请日

2020-10-30

公开号

CN112271953B

公开日

2022-09-02

申请人

浙江工业职业技术学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H02N2_02

IPC 分类号

H02N2_02 , H02N2_04 , H02N2_00 ,

技术画像

所属领域

压电驱动技术压电驱动技术直线驱动机构精密运动控制

应用场景

精密定位, 微纳制造, 半导体制造设备, 光学仪器, 工业自动化

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摘要

本发明公开了一种尺蠖粘滑混合驱动式压电直线驱动器及安装工艺，包括定平台、动平台和交叉滚珠导轨，交叉滚珠导轨分别连接定平台和动平台，定平台上部固定有驱动机构，驱动机构侧面连接箝位机构。本发明结构简单，能输出较大驱动力的同时，又能够有效抑制动平台的位移回退现象；通过箝位机构设置摩擦片，又能够有效防止动平台在瞬间运动时与箝位机构产生相对位移，导致位移量减小。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种轨道交通部件表面处理设备

当前第 / 件

爬架底层脚踏板

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