实用新型已授权

一种单晶炉腔体炉盖及压力容器

📄 申请号：CN202323504629.3 📄 发布日：2026/08/21

著录项目信息

申请日

2023-12-22

公开号

CN222294251U

公开日

2025-01-03

申请人

迪森(常州)能源装备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C30B15_00

IPC 分类号

C30B15_00 , C30B15_20 , C30B29_06 ,

技术画像

所属领域

晶体生长设备晶体生长设备压力容器单晶炉零部件

应用场景

单晶硅制备, 半导体材料生产, 光伏硅片制造

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摘要

本实用新型公开了一种单晶炉腔体炉盖及压力容器，该单晶炉腔体炉盖包括炉盖本体，炉盖本体包括外壳、内壳及隔水条，述外壳与内壳之间具有冷却空间，各隔水条将冷却空间在横向方向分为多个冷却水腔，外壳上设有多个分别与各冷却水腔相连通的进水管及出水管。上述单晶炉腔体炉盖通过隔水条以横向方向的分割方式，将其分割为不同的受热区域，通过进出水的温度检测，调整各进出水管的连接方式，使冷却水能够较好地降低炉盖的温度，以降低晶棒的温度，便于研究炉盖上的温度情况对晶棒的生长影响，在实际应用中，也能快速调整进出水管的连接方式，便于节约冷却水。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种用于单晶炉腔体的排气筒及压力容器

当前第 / 件

一种便于调节的清理筛

同领域国内专利 · IPC: (C30B15_00)

C30B15_00 C30B15_02 C30B15_04 C30B15_14 C30B15_20 C30B15_22 C30B15_34 覆盖7个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：5 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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