实用新型已授权

一种用于单晶炉腔体的排气筒及压力容器

📄 申请号：CN202323504626.X 📄 发布日：2026/08/21

著录项目信息

申请日

2023-12-22

公开号

CN222294250U

公开日

2025-01-03

申请人

迪森(常州)能源装备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C30B15_00

IPC 分类号

C30B15_00 , C30B29_06 , B01D53_00 ,

技术画像

所属领域

单晶炉设备单晶炉设备晶体生长设备压力容器

应用场景

单晶硅拉制, 太阳能光伏硅片生产, 半导体晶圆制备, 晶体生长炉排气系统, 高温炉腔体压力控制

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摘要

本实用新型公开了一种用于单晶炉腔体的排气筒及压力容器，该排气筒包括筒体、导风罩及换热管组，筒体上设有进气管、出气管、第一连接管及第二连接管；导风罩具有进风口及出风口，进风口罩在进气管的出口，出风口为朝下设置。上述排气筒通过导风罩罩住进气管的出口，使通过真空泵吸入的废气经过导风罩的导风作用，将废气吹向于筒底，形成废气的缓冲，使废气中的硅化物在导风罩、筒底之间的碰撞中，能够发生冷凝下来，避免硅化物冷凝在筒体出气管上，同时，通过换热管组的作用，降低筒体内的温度，使废气中硅化物能够大幅度冷凝下来，而该换热管组内可以通入冷水、氦气等物质，对筒体内的热能进行回收。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种立式物料分选机

当前第 / 件

一种单晶炉腔体炉盖及压力容器

同领域国内专利 · IPC: (C30B15_00)

C30B15_00 C30B15_02 C30B15_04 C30B15_14 C30B15_20 C30B15_22 C30B15_34 覆盖7个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：6 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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