单晶炉设备 - 专利交易市场|柿子坊知识产权运营平台

实用新型已授权

本实用新型公开了一种用于单晶炉腔体的排气筒及压力容器，该排气筒包括筒体、导风罩及换热管组，筒体上设有进气管、出气管、第一连接管及第二连接管；导风罩具有进风口及出风口，进风口罩在进气管的出口，出风口为朝下设置。上述排气筒通过导风罩罩住进气管的出口，使通过真空泵吸入的废气经过导风罩的导风作用，将废气吹向于筒底，形成废气的缓冲，使废气中的硅化物在导风罩、筒底之间的碰撞中，能够发生冷凝下来，避免硅化物冷凝在筒体出气管上，同时，通过换热管组的作用，降低筒体内的温度，使废气中硅化物能够大幅度冷凝下来，而该换热管组内可以通入冷水、氦气等物质，对筒体内的热能进行回收。

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一种用于单晶炉腔体的排气筒及压力容器