摘要
本发明涉及一种组合式平面三自由度超声波电机振子及其驱动方法,振子包括通过连接装置并列连接的两个夹心式柱状压电换能器组件,每个夹心式柱状压电换能器组件包括一个中柱、两个端柱、两组x向弯振压电陶瓷组件、四组z向弯振压电陶瓷组件以及从两侧将它们拧紧固定的两根螺钉,每组x向弯振压电陶瓷组件均由四片压电陶瓷片及一片电极片构成,每组z向弯振压电陶瓷组件均由两片压电陶瓷片及一片电极片构成,所有压电陶瓷片均沿厚度方向极化,通过两组电压信号激励振子,实现平面三自由度驱动。本发明解决了对接触面为平面的动子的三自由度驱动的问题。本发明属于电子产品技术领域,可以用于精密驱动、光学检测、微机械等领域。