发明专利已授权

一种Z轴敏感的MEMS耦合刚度调制式加速度计

📄 申请号：CN202511472122.5 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2025-10-15

公开号

CN120927997A

公开日

2025-11-11

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01P15_125

IPC 分类号

G01P15_125 , G01P15_18 ,

技术画像

所属领域

MEMS传感器 MEMS传感器惯性传感器谐振式传感器

应用场景

惯性导航, 消费电子, 汽车安全, 工业振动监测, 航空航天

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摘要

本发明提供了一种Z轴敏感的MEMS耦合刚度调制式加速度计，包括上层结构和下层结构；所述上层结构是基于硅材料的硅微机械传感器，所述下层结构是基于二氧化硅的玻璃底座；所述硅微机械传感器通过锚点与玻璃底座连接，所述玻璃底座上面布有信号电极。所述硅微机械传感器包括惯性质量块，第一谐振器、第二谐振器、弹性支撑梁系统和锚点。本发明结构能够增强惯性质量块在Z轴方向的位移响应，实现对Z轴加速度的灵敏检测与信号放大，提升了加速度计的整体性能与测量精度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于断裂线约束的机载点云快速滤波方法

当前第 / 件

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