发明专利已授权

一种利用电子束感应电流测量异质结界面复合速率的方法

📄 申请号：CN202410982718.9 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2024-07-22

公开号

CN118837709B

公开日

2026-06-12

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01R31_265

IPC 分类号

G01R31_265

技术画像

所属领域

半导体材料与器件半导体材料与器件电子束检测技术界面表征分析

应用场景

半导体器件研发, 光伏电池性能测试, 光电材料表征, 芯片失效分析, 质量检测

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

一种利用电子束感应电流测量异质结界面复合速率的方法，同时考虑了耗尽区体复合和前界面复合，在耗尽区中同时考虑载流子的扩散运动和非均匀内建电场导致的漂移运动，获得了新的载流子收集几率函数。本发明通过电子束感应电流分析异质结界面复合的特性，这是影响异质结器件短波响应最重要的复合机制。通过测量值f(x)＝IEBIC/Ib计算获得异质结界面的复合速率Sp，从而获得一组能够可靠评价异质结界面质量的参数。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

基于场景图和概念网相结合的检索知识图谱库生成方法

当前第 / 件

一种基于神经通路特征提取的垂直联邦下模型窃取防御方法

同领域国内专利 · IPC: (G01R31_265)

G01R31_00 G01R31_01 G01R31_02 G01R31_08 G01R31_11 G01R31_12 G01R31_14 G01R31_16 G01R31_18 G01R31_24 G01R31_26 G01R31_265 G01R31_28 G01R31_317 G01R31_3177 G01R31_3185 G01R31_327 G01R31_34 G01R31_36 G01R31_364 G01R31_367 G01R31_378 G01R31_379 G01R31_382 G01R31_3835 G01R31_3842 G01R31_385 G01R31_387 G01R31_388 G01R31_389 G01R31_392 G01R31_396 G01R31_40 G01R31_42 G01R31_44 G01R31_50 G01R31_52 G01R31_54 G01R31_55 G01R31_56 G01R31_58 G01R31_62 G01R31_64 G01R31_66 G01R31_67 G01R31_68 G01R31_69 G01R31_72 覆盖48个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：16 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)