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一种利用电子束感应电流测量异质结界面复合速率的方法，同时考虑了耗尽区体复合和前界面复合，在耗尽区中同时考虑载流子的扩散运动和非均匀内建电场导致的漂移运动，获得了新的载流子收集几率函数。本发明通过电子束感应电流分析异质结界面复合的特性，这是影响异质结器件短波响应最重要的复合机制。通过测量值f(x)＝IEBIC/Ib计算获得异质结界面的复合速率Sp，从而获得一组能够可靠评价异质结界面质量的参数。

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一种利用电子束感应电流测量异质结界面复合速率的方法

2024109827189 · 浙江工业大学

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CRISPR基因编辑技术

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