发明专利已授权

一种薄膜及光学元件损伤判别的声学方法

📄 申请号：CN201010572845.X 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2010-12-05

公开号

CN102297899A

公开日

2011-12-28

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N29_12

IPC 分类号

G01N29_12 , G01N29_46 ,

技术画像

所属领域

光学元件声学检测无损检测薄膜技术光学元件

应用场景

光学元件质量检测, 薄膜损伤在线监测, 激光系统维护, 工业无损检测

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摘要

本发明属于一种薄膜以及光学元件损伤判别的测量领域，具体是一种薄膜及光学元件损伤判别的声学方法。现有技术对激光损伤阈值测试存在测试的重复性难以保证和测试的准确性难以保证两个问题。为了克服现有技术存在的问题，本发明提供的技术方案是：一种基于声学的损伤判别方法：通过探测薄膜损伤瞬间产生的声学时域强度信号，进而对时域强度信号进行副立叶变化，经过副立叶变化后，提取出时域信号的频域特征，即出现某一特定的频率，该频率唯一表征了薄膜是否损伤，从得到的时域信号和该信号的频域特征，综合给出薄膜损伤与否的准确判据，即时域是否出现强度峰并且频域是否有特征频率。本发明测试的重复性好、准确性高。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

整片晶圆纳米压印的装置和方法

当前第 / 件

基于光子晶体光纤的微泵驱动装置

同领域国内专利 · IPC: (G01N29_12)

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议价

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：25 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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