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实用新型已授权

本实用新型公开了三维纳米结构声表面波气敏传感器，包括外壳，所述外壳的内部设置有气体检测机构，所述气体检测机构包括晶体基片，所述晶体基片的顶部固定安装有三维纳米结构板，所述三维纳米结构板呈U型结构，所述三维纳米结构板的内部设置有气敏薄膜，所述气敏薄膜贴合在三维纳米结构板上，所述外壳的底部固定穿设有电极引脚，所述电极引脚设置有两个，且两个电极引脚呈镜像分布。本实用新型将三维纳米结构板呈U型结构，U型结构可以有效地集中和引导声波的传播，减少能量的扩散和损失，提高检测的精确性，三维纳米结构具有巨大的比表面积、优异的力学性能和优异的光学和电子性能。

📄 2024211167587 📂 G01N29_036 👤 苏州中芯微纳传感科技有限公司 📅 2024-05-21

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三维纳米结构声表面波气敏传感器