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发明专利
已授权
一种光学薄膜激光毁伤的识别装置及识别方法
📄 申请号：CN201410200783.8
📄 发布日：2026/07/23
著录项目信息
申请日
2014-05-13
公开号
CN103954680B
公开日
2016-08-24
申请人
西安工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01N27_64
IPC 分类号
G01N27_64
技术画像
所属领域
光学薄膜
光学薄膜
激光损伤检测
图像识别
应用场景
光学元件检测, 高功率激光系统, 精密光学制造, 激光器质量检测, 科研实验
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摘要
本发明公开了一种光学薄膜激光毁伤的识别方法及装置，通过采集质荷比分布，用计算机软件进行质谱分析与元素判别，就能确定所毁伤材料中包含的元素种类，从而准确、在线、快速判别出薄膜是否发生损伤。采用该方法的装置由测试样品台、质荷比采集系统及计算机运算系统组成。本发明能够实现在线、实时、快速、准确判别薄膜或光学元件在强激光下的毁伤状态。将该方法应用于激光损伤阈值测试中，可实现测试系统的集成化、自动化、智能化。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20160824
✅ 授权
20140827
?? 实质审查的生效 ：
20140730
📄 公开
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📌 交易状态：
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