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本发明属于一种薄膜以及光学元件损伤判别的测量领域，具体是一种薄膜及光学元件损伤判别的声学方法。现有技术对激光损伤阈值测试存在测试的重复性难以保证和测试的准确性难以保证两个问题。为了克服现有技术存在的问题，本发明提供的技术方案是：一种基于声学的损伤判别方法：通过探测薄膜损伤瞬间产生的声学时域强度信号，进而对时域强度信号进行副立叶变化，经过副立叶变化后，提取出时域信号的频域特征，即出现某一特定的频率，该频率唯一表征了薄膜是否损伤，从得到的时域信号和该信号的频域特征，综合给出薄膜损伤与否的准确判据，即时域是否出现强度峰并且频域是否有特征频率。本发明测试的重复性好、准确性高。

本实用新型涉及光学照明技术领域，尤其涉及一种匀光照明设备及匀光棒，包括光刻机镜头；光刻机镜头包括中继镜筒、匀光棒镜筒、照明镜筒、物镜筒、反射镜框和照明镜筒座；匀光棒镜筒与中继镜筒的连接端设置有左封头，匀光棒镜筒与照明镜筒的连接端设置有右封头；匀光棒镜筒的内部设置有空心光棒，空心光棒包括两条大玻璃条和两条小玻璃条；大玻璃条和小玻璃条均为平面玻璃；且在其表面镀有大角度入射的高反膜；一条大玻璃条与一条小玻璃条通过光敏胶胶合形成组合件，两组组合件胶合形成空心光棒；本实用新型中空心光棒相对于实心光棒有效避免了加工过程中破边的问题；满足匀光照明的降低了装调的难度，使用更加方便。