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本发明涉及集成电路声扫检测装置及其集成电路载具，属于集成电路检测技术领域。集成电路载具，包括固定边框和活动边框，活动边框位于固定边框内并与固定边框滑动配合，活动边框的一端连接有驱动活动边框往复直线运动的振动机构；活动边框上设置有用于对集成电路进行定位的定位机构，定位机构包括对集成电路进行支撑的支撑面；活动边框上设置有多个喷水通道，喷水通道的出水方向平行于支撑面且垂直于活动边框的直线运动方向。集成电路声扫检测装置包括上述集成电路载具。本发明不仅可以对集成电路表面的气泡进行去除，还可以去除集成电路内部微小孔洞中的气体，避免在扫描过程中，集成电路内部的气体排出而产生新的气泡，从而保证检测精度。

本实用新型涉及晶圆检测技术领域，具体涉及一种晶圆检测设备，包括固定底座、支撑架、检测头和检测台，还包括除尘组件，除尘组件包括连接座、喷头、支撑座、吸尘罩、喷气构件、吸气构件和转动构件，连接座与固定底座固定连接，喷头与连接座固定连接，支撑座与固定底座固定连接，吸尘罩与支撑座固定连接，喷气构件设置在固定底座上，并与喷头连接，吸气构件设置在固定底座上，并与吸尘罩连接，转动构件设置在固定底座上，并与检测台连接，通过将检测台上晶圆上吹起的灰尘吸入到吸尘罩内进行收集，避免灰尘再次掉落到晶圆上，从而避免晶圆上堆积吸附的灰尘影响检测结果，进而提高装置检测时的准确性。