发明专利已授权

一种基于柔顺机构的尺蠖式精密直线微驱动器

📄 申请号：CN201610988858.2 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2016-11-10

公开号

CN106452165B

公开日

2020-06-30

申请人

江西理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H02N2_02

IPC 分类号

H02N2_02

技术画像

所属领域

驱动器柔顺机构尺蠖式微驱动精密直线驱动驱动器

应用场景

半导体制造装备, 精密测量仪器, 微纳制造, 精密光学调整

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摘要

本发明公开了一种基于柔顺机构的尺蠖式精密直线微驱动器，包括驱动机构、2个箝位机构和动子组成，其中驱动机构由4个对称布置的驱动支链和1对定子组成，驱动支链由2个杠杆结构组成，驱动支链采用柔性铰链连接于定子，相对于定子能作往复微位移运动；箝位机构由对称布置的3对柔性铰链、1对杆件组和1对箝位片组成，2个箝位机构通过杆件对称连接于驱动机构两端；动子为细长圆柱形结构，置于微驱动器对称中心，通过孔与箝位机构配合，通过通槽与驱动机构配合，能在孔和通槽中运动。采用驱动机构驱动箝位机构进行往复运动，箝位机构带动动子作直线运动的运动形式仿生尺蠖运动规律。所设计的微驱动器可用于超精密加工、精密工程、微机电系统、生物工程、半导体制造等领域。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20200630

✅ 授权

20170322

?? 实质审查的生效：

20170222

📄 公开

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