发明专利已授权

一种基于热对流原理的微机械加速度传感器的设计及其制作方法

📄 申请号：CN201710435499.2 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2017-06-11

公开号

CN107192849B

公开日

2021-05-28

申请人

硬芯科技(西安)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01P15_08

IPC 分类号

G01P15_08

技术画像

所属领域

加速度传感器微机械传感器 MEMS制造工艺加速度传感技术加速度传感器

应用场景

消费电子, 汽车电子, 工业自动化, 惯性导航, 智能终端

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摘要

本发明涉及一种基于热对流原理的微机械加速度传感器的设计及其制作方法。本发明所涉及的热对流式微机械加速度传感器没有在硅片上开孔形成腔结构，而是通过BCB键合胶把玻璃盖板和硅片键合来形成密闭空腔，并且在所述的第一基底上制作了一层聚酰亚胺膜来防止热量散失，保证热气团更好地发挥作用和降低功耗，另外聚酰亚胺膜也可以防止铂电极漏电，这种设计使工艺过程变得简单而且制作出来的传感器结构更稳定，可靠性高，性能也更好。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

反铁电陶瓷/PVDF03结构复合材料及其热处理制备方法

当前第 / 件

一种桥面组合结构施工一体机

同领域国内专利 · IPC: (G01P15_08)

G01P15_00 G01P15_08 G01P15_09 G01P15_093 G01P15_097 G01P15_12 G01P15_125 覆盖7个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：31 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

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