发明专利已授权

选择性吸收增强的宽光谱多波段探测结构及其制备方法

📄 申请号：CN201910162591.5 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-03-05

公开号

CN109887943B

公开日

2021-01-05

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L27_146

IPC 分类号

H01L27_146

技术画像

所属领域

光电探测光电探测光电子器件光谱传感

应用场景

红外探测, 多光谱成像, 环境监测, 光学遥感, 光谱分析

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摘要

本发明涉及选择性吸收增强的宽光谱多波段探测结构及其制备方法，该选择性吸收增强的宽光谱多波段探测结构，包括可探测不同波段入射光的若干个亚像素单元，每个亚像素单元均由方井状的微结构阵列及其表面的金属下电极、光敏层和上电极构成，不同亚像素单元中的方井状的微结构尺寸及阵列间距根据其所在亚像素单元的探测波段确定，所述方井状的微结构上端开口内部中空构成谐振腔，同一亚像素单元内相邻的方井状的微结构之间构成谐振腔。本发明解决现有技术中的探测器结构无法同时实现可见光‑近红外多波段吸收增强探测的问题。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20210105

✅ 授权

20190709

?? 实质审查的生效：

20190614

📄 公开

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