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本发明提出了一种运动目标的差分式光电探测方法及其装置，该方法应用光学对称的两个或者两个以上的探测视场形成差分结构，通过探测所述两个或者两个以上探测视场光通量的相对变化，计算被测运动目标达到预定空间位置的精确时刻。本发明装置通过对称的探测视场设计与差分式探测电路配合，可以有效减弱甚至消除背景光波动和环境光干扰导致的可靠性问题，从根本上解决原有设计中灵敏度与探测精度之间的矛盾问题，有利于提高探测器的信噪比，从而可以在保证高度可靠的基础上实现更高的探测灵敏度。另外，本发明的输出信号时域特征更加明确，可以显著简化信号分析的算法，有利于通过硬件方式实现高精度的快速分析与处理。

本发明涉及选择性吸收增强的宽光谱多波段探测结构及其制备方法，该选择性吸收增强的宽光谱多波段探测结构，包括可探测不同波段入射光的若干个亚像素单元，每个亚像素单元均由方井状的微结构阵列及其表面的金属下电极、光敏层和上电极构成，不同亚像素单元中的方井状的微结构尺寸及阵列间距根据其所在亚像素单元的探测波段确定，所述方井状的微结构上端开口内部中空构成谐振腔，同一亚像素单元内相邻的方井状的微结构之间构成谐振腔。本发明解决现有技术中的探测器结构无法同时实现可见光‑近红外多波段吸收增强探测的问题。

本发明公开了一种用集成四光电探测器的差分单频干涉信号处理装置及方法。含有干涉单元和检测单元，在参考臂上加入光电相位调制器；检测单元包括四分之一波片、偏振片、扩束器和集成四光电探测器，用于检测测量和参考光束的干涉条纹并产生四路干涉信号；光电相位调制器施加高频正弦波调制电压，使干涉信号成含有待测相位信息的相位生成载波干涉信号；PGC解调得四组正交信号经计算得四路干涉信号的相位，计算差分相位变化来测量位移、偏摆角和俯仰角并进行补偿。本发明降低了测量方法的非线性误差，消除了由于光学元件性能不理想或安装误差引入的光强干扰影响，提高了相位的测量精度和稳定性，提高了角度的测量精度和测量范围，提高了位移的测量精度。