发明专利 已授权

一种电介质中载流子注入势垒的测试提取方法

📄 申请号:CN202211491602.2 📄 发布日:2026/08/10

著录项目信息

申请日
2022-11-25
公开号
CN115792445B
公开日
2026-04-14
申请人
南京信息工程大学,浙江太湖远大新材料股份有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

半导体器件测试, 集成电路可靠性分析, 功率器件设计, 存储器性能评估, 栅介质表征

摘要

本发明公开一种电介质中载流子注入势垒的测试提取方法,基于注入电荷量变化率和电场变化获得注入电流密度与电场强度的关系,进行电介质载流子注入势垒的测试提取,其包括如下步骤:制备介质试样;进行电极单极性载流子注入测试;计算电介质中载流子迁移的电导电流和电极与电介质界面处的位移电流;计算电极与电介质界面处载流子注入电流密度;将电流密度和电极处电场强度关联,获得电介质中载流子注入电流密度‑电极界面电场强度关系曲线;进行分析拟合,提取载流子注入势垒。本发明的测试提取方法提供能真实反映电介质在不同电场强度工作状态下电气性能参数,为电介质中电荷输运仿真提供参数,具有显著的科学效益和经济效益。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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