实用新型已授权

一种洁净室内附属设备防震基座

📄 申请号：CN202121250115.8 📄 发布日：2026/06/12

著录项目信息

申请日

2021-06-06

公开号

CN215171867U

公开日

2021-12-14

申请人

江苏瑞鑫集成电路设备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16F15_08

IPC 分类号

F16F15_08 , F16M11_22 ,

技术画像

所属领域

减震隔振技术减震隔振技术设备安装结构洁净室设施

应用场景

洁净室, 半导体制造, 生物医药生产, 精密仪器安装, 电子制造

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摘要

本实用新型公开了一种洁净室内附属设备防震基座，涉及洁净室技术领域，包括基座本体，所述基座本体顶部开设有凹槽，且凹槽内部设置有固定板，所述基座本体底部四角均开设有缺口，四个所述缺口底部均固定连接有固定筒，四个所述固定筒底部均铰接有支撑柱，多个所述支撑柱位于同一固定筒上的底端均铰接有支撑盘，三个所述固定筒顶部内壁均固定连接有垂直弹簧，三个所述垂直弹簧底端均与支撑盘之间通过螺栓连接。本实用新型能够对整个基座本体进行防震处理，当外界发生震动时，动力大部分被垂直弹簧吸收，确保整个基座本体受到较小的影响，降低基座本体内部防震装置受到的压力，同时提高基座本体的使用寿命。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种半导体无尘室的隔振基座

当前第 / 件

一种集成电路设备的高阻尼抗震基座

同领域国内专利 · IPC: (F16F15_08)

F16F15_00 F16F15_02 F16F15_023 F16F15_027 F16F15_03 F16F15_04 F16F15_06 F16F15_067 F16F15_073 F16F15_08 F16F15_10 F16F15_12 F16F15_123 F16F15_124 F16F15_129 F16F15_134 F16F15_16 F16F15_26 F16F15_28 F16F15_30 F16F15_31 F16F15_315 覆盖22个领域

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