实用新型已授权

一种半导体无尘室的隔振基座

Name: 一种半导体无尘室的隔振基座
Brand: 江苏瑞鑫集成电路设备有限公司
SKU: 2021212461907
Availability: InStock

📄 申请号：CN202121246190.7 📄 发布日：2026/06/12

著录项目信息

申请日

2021-06-04

公开号

CN215173328U

公开日

2021-12-14

申请人

江苏瑞鑫集成电路设备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16M5_00

IPC 分类号

F16M5_00 , F16F15_02 , H01L21_67 ,

技术画像

所属领域

振动控制振动控制隔振支撑结构洁净室工程

应用场景

半导体洁净室, 晶圆制造, 半导体设备安装, 精密设备隔振, 微电子厂房

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摘要

本实用新型属于半导体生产技术领域，尤其为一种半导体无尘室的隔振基座，包括基座箱体，所述基座箱体顶端中部等距开设有分隔槽，所述基座箱体顶端四边角处均开设有固定螺槽，所述分隔槽内部等距安装有十字型支撑板，所述十字型支撑板顶端中部焊接有支撑柱，所述支撑柱两侧顶部均开设有限位卡槽，所述基座箱体上方安装有基座顶板。通过支撑柱、限位卡槽、定位卡孔、挤压槽、限位卡块和限位弹簧的配合使用，可以对基座顶板的安装进行定位和初步限位固定，通过固定螺槽、固定卡槽、固定卡孔和固定螺杆的配合使用，可以对基座顶板进行再次固定，可以使基座顶板与基座箱体之间连接的更加紧密，便于工作人员对基座的组装使用。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN215173328U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种高速生产设备的震动抑制基座结构

当前第 / 件

一种洁净室内附属设备防震基座

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F16M5_00 覆盖1个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：169 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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