实用新型已授权

一种集成电路设备的高阻尼抗震基座

📄 申请号：CN202121250119.6 📄 发布日：2026/06/12

著录项目信息

申请日

2021-06-06

公开号

CN215171844U

公开日

2021-12-14

申请人

江苏瑞鑫集成电路设备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16F15_067

IPC 分类号

F16F15_067 , H05K7_20 ,

技术画像

所属领域

减振结构减振结构阻尼材料集成电路制造设备

应用场景

半导体制造, 集成电路设备安装, 精密设备减振, 高精度仪器防震, 洁净室设备支撑

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摘要

本实用新型涉及集成电路设备技术领域，具体为一种集成电路设备的高阻尼抗震基座，包括下基座、定位槽与上基座，定位槽开设于下基座的顶面，上基座内嵌设置于定位槽的内部，下基座的下方固定安装有支撑脚，支撑脚的底面贴合有防滑垫片。本实用新型克服了现有技术的不足，通过第一弹簧定位柱与第二弹簧定位柱不仅可大大增加上基座相对下基座移动时阻尼作用，且还可大幅度降低上基座相对下基座移动时的颤动频率，防止集成电路设备在震动下造成损坏，抗震性能优异，防护性强，散热网片可将集成电路设备运行过程中产生的热量进行排放，保证抗震性能的同时，不影响设备本身的散热性能，具有较高的实用性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种洁净室内附属设备防震基座

当前第 / 件

一种集成电路生产设备的插入式固定脚支架

同领域国内专利 · IPC: (F16F15_067)

F16F15_00 F16F15_02 F16F15_023 F16F15_027 F16F15_03 F16F15_04 F16F15_06 F16F15_067 F16F15_073 F16F15_08 F16F15_10 F16F15_12 F16F15_123 F16F15_124 F16F15_129 F16F15_134 F16F15_16 F16F15_26 F16F15_28 F16F15_30 F16F15_31 F16F15_315 覆盖22个领域

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