发明专利已授权

一种MEMS高g值三轴加速度计

📄 申请号：CN202111531486.8 📄 发布日：2026/06/02

著录项目信息

申请日

2021-12-14

公开号

CN114217094B

公开日

2023-07-25

申请人

安徽大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01P15_12

IPC 分类号

G01P15_12

技术画像

所属领域

MEMS传感器 MEMS传感器微机电系统惯性传感器

应用场景

汽车碰撞检测, 工业冲击监测, 航空航天, 国防军事

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摘要

本发明公开了一种MEMS高g值三轴加速度计，其包括：外部矩形框架，设在外部矩形框架中心的质量块，设在外部矩形框架和质量块之间的回形梁；回形梁与质量块之间通过中间支撑梁连接；外部矩形框架、回形梁及质量块在四角位置通过对角支撑梁连接；在外部矩形框架和回形梁之间连接有敏感微梁，在敏感微梁上设置有压敏电阻。本发明的三轴加速度计结构中心对称，轴间耦合度低，在不牺牲固有频率的同时实现了较高的灵敏度，且其制作工艺简单。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种油缸生产用清洗设备

当前第 / 件

基于皮肤触觉感知架构的多层仿生触觉传感器

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G01P15_00 G01P15_08 G01P15_09 G01P15_093 G01P15_097 G01P15_12 G01P15_125 覆盖7个领域

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