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发明专利
已授权
一种薄膜材料力学性能监测方法及系统
📄 申请号:CN202411331058.4
📄 发布日:2026/05/18
著录项目信息
申请日
2024-09-24
公开号
CN118858032A
公开日
2024-10-29
申请人
因而克智能科技(浙江)有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01N3_40
IPC 分类号
G01N3_40
,
G16C60_00
,
G16C10_00
,
技术画像
所属领域
薄膜材料
薄膜材料
力学性能测试
在线监测系统
应用场景
新材料研发, 薄膜质量检测, 半导体制造, 柔性电子, 工业自动化
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摘要
本发明涉及薄膜材料力学性能技术领域,具体为一种薄膜材料力学性能监测方法及系统,本发明通过建立薄膜缺陷分析模型,识别划分为多个区域的复合薄膜的图像数据;依据识别的缺陷特征计算各个缺陷特征的第一监测影响值,并对第一监测影响值监测合格的区域进行力学性能监测,监测不合格的划分为第一监测干扰区域;监测并获取合格区域的第一性能参数和第二性能参数,并将监测不合格的区域划分为第二监测干扰区域和第三监测干扰区域;通过该方法能够更全面的分析复合薄膜中出现应力分布不均和缺陷等问题的区域,提供更准确的复合薄膜环境数据,以便于提升纳米压痕法力学性能监测的准确率。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20250124
✅ 授权
20241115
?? 实质审查的生效 :
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