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发明专利
已授权
交错四足驱动压电步进直线电机
📄 申请号:CN202110129138.1
📄 发布日:2026/05/07
著录项目信息
申请日
2021-01-29
公开号
CN112787544B
公开日
2022-03-11
申请人
华侨大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H02N2_02
IPC 分类号
H02N2_02
技术画像
所属领域
压电驱动
压电驱动
直线电机
精密运动控制
应用场景
精密定位, 半导体制造设备, 光学精密平台, 工业自动化, 精密加工装备
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摘要
本发明涉及交错四足驱动压电步进直线电机,所述第一作动杆与第二作动杆相对于动子呈对称分布,第一作动杆的一端通过左侧水平柔性铰链与左侧上部基座相连,第二作动杆的一端通过右侧水平柔性铰链与右侧上部基座相连,第一作动杆的另一端与第一组箝位机构相配合的相接,第二作动杆的另一端与第二组箝位结构相配合的相接。本发明提出交错四足驱动压电步进直线电机,叠层压电陶瓷的伸缩作用通过摆杆以及位移转换机构传递到动子,输出位移的方向与叠层压电陶瓷伸缩的方向平行;当给叠层压电陶瓷输入压电控制信号后,能够实现差动动作,从而实现大行程、大推力与高精度兼顾。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种电子凸轮的控制方法、装置、设备、存储设备
当前第 / 件
一种基于预测差值压缩编码的密文图像可逆数据隐藏方法
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