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发明专利
已授权
一种便于去除杂质层的多晶硅铸锭炉
📄 申请号:CN202011138223.6
📄 发布日:2026/05/07
著录项目信息
申请日
2020-10-22
公开号
CN112064113B
公开日
2021-05-25
申请人
新余学院
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
C30B29_06
IPC 分类号
C30B29_06
,
C30B28_06
,
技术画像
所属领域
晶体生长设备
晶体生长设备
热处理设备
多晶硅制备
应用场景
光伏材料制造, 多晶硅铸锭, 半导体晶锭制备, 硅材料提纯
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摘要
本发明公开了一种便于去除杂质层的多晶硅铸锭炉,属于多晶硅铸锭技术领域,其技术方案要点是,包括配套设置的炉体和炉盖,炉体的内部通过拉锭机构支撑设置有石墨坩埚,石墨坩埚用于盛装多晶硅原料、高温熔化后的硅液以及借助定向凝固法凝固成型的多晶硅锭,多晶硅锭由分层凝固在一起的多晶硅层和杂质层构成,炉体的内部还设置有发热机构,炉盖上从外界通入有进气管,进气管对准石墨坩埚的开口,炉盖为可升降结构,其借助升降机构来进行升降活动,且其内侧设有取锭机构。该种便于去除杂质层的多晶硅铸锭炉同时兼具多种功能,完善了传统多晶硅铸锭炉的夹取、定位功能,使用起来更加便捷,并且使用期间也无需再进行额外的设备投入。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种多晶硅锭杂质层截除装置
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