发明专利已授权

一种MEMS光谐振式加速度计

📄 申请号：CN202511432338.9 📄 发布日：2026/08/18

著录项目信息

申请日

2025-10-09

公开号

CN120891224B

公开日

2025-11-28

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01P15_08

IPC 分类号

G01P15_08

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

惯性导航, 工业自动化, 汽车电子, 消费电子, 航空航天

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摘要

本发明公开了一种MEMS光谐振式加速度计，属于微纳机电系统与光学传感领域。该加速度计包括玻璃基座、硅微结构层、安全结构组、双象限光电探测器及光源；玻璃基座中心设双象限光电探测器；硅微结构层具有通过四组垂直力放大单元连接的受力基座和质量块；受力基座四角设折叠梁式安全结构；质量块中心设圆形透光孔且与双象限光电探测器共轴对齐，两侧对称布置静电梳齿驱动器组以激励谐振；光源发射垂直光束经透光孔被双象限光电探测器接收；加速度作用于受力基座时，惯性力经杠杆机构放大转换为质量块的轴向应力，调制其谐振频率；当光强信号相位滞后驱动信号90°时，系统锁定谐振状态，通过频率偏移解算加速度，实现加速度高精度测量。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种面向RAG的嵌入服务弹性部署方法

当前第 / 件

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