实用新型已授权

一种单晶炉硅芯退火装置

📄 申请号：CN202420994237.5 📄 发布日：2026/05/18

著录项目信息

申请日

2024-05-09

公开号

CN222362191U

公开日

2025-01-17

申请人

江阴东升新能源股份有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C30B29_06

IPC 分类号

C30B29_06 , C30B33_02 ,

技术画像

所属领域

单晶炉半导体材料热处理工艺单晶硅制备单晶炉

应用场景

半导体制造, 光伏产业, 单晶硅生产, 集成电路制造

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摘要

本实用新型涉及单晶炉硅芯技术领域，且公开了一种单晶炉硅芯退火装置。该单晶炉硅芯退火装置，包括主体与放置架，所述主体内轴接加热炉，所述加热炉内滑动连接退火架，所述退火架一侧固定连接放置架，所述主体内固定连接第一电机，所述第一电机中部设置有螺纹杆，所述螺纹杆外螺纹连接螺纹套，所述螺纹套轴接所述加热炉，所述螺纹套一端轴接所述退火架，第一电机驱动螺纹杆转动，进而推动螺纹套和退火架向外移动。这一设计避免了人工取出高温硅芯，降低了烫伤风险，提高了装置的安全性。放置架底部的加热器确保硅芯在退火过程中温度不会急速下降，从而减少硅芯的损坏，提高成品率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种农田灌溉渠用分流装置 (水利农田灌溉 )

当前第 / 件

一种模块化玻璃反应釜

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议价

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