实用新型已授权

一种节能型银靶材的晶粒辊压细化装置

Name: 一种节能型银靶材的晶粒辊压细化装置
Brand: 澜晶科技(沈阳)有限公司
SKU: 202121848175X
Availability: InStock

📄 申请号：CN202121848175.X 📄 发布日：2026/08/13

著录项目信息

申请日

2021-08-09

公开号

CN218059148U

公开日

2022-12-16

申请人

澜晶科技(沈阳)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C22F1_14

IPC 分类号

C22F1_14 , C23C14_34 , C03C17_09 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

半导体制造, 磁控溅射镀膜, 新型显示, 光伏电池, 精密金属加工

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摘要

本实用新型涉及晶粒细化技术领域，具体为一种节能型银靶材的晶粒辊压细化装置，包括机床，所述机床的内部卡接固定有银靶材本体，所述银靶材本体的表面卡接固定连接有三角卡盘，所述三角卡盘的表面设置有辅助细化装置，所述底座的内部分别固定连接有上辊压轮和下辊压轮，所述辅助细化装置的底部设置有收集装置，所述收集装置的表面设置有收集箱。本实用新型通过设置辅助细化装置和收集装置，达到机床在带动银靶材本体转动时利用三角卡盘进行滑动辊压细化和表面清理的效果，达到降低银靶材本体的晶粒大小，达到使银靶材本体的均匀性更好的目的，同时利用转动的银靶材本体作为动力来源，进一步达到节能的效果。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种节能高效的银靶材浇筑组件

当前第 / 件

一种节能型造币银坯饼熔铸设备

同领域国内专利 · IPC: (C22F1_14)

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