实用新型 已授权

一种节能高效的银靶材浇筑组件

📄 申请号:CN202121848163.7 📄 发布日:2026/08/13

著录项目信息

申请日
2021-08-09
公开号
CN218050196U
公开日
2022-12-16
申请人
澜晶科技(沈阳)有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

半导体薄膜沉积;光伏电池镀膜;显示面板制造;光学镀膜;装饰镀膜;磁控溅射靶材生产

摘要

本实用新型涉及浇筑技术领域,具体为一种节能高效的银靶材浇筑组件,包括倾斜底座,所述倾斜底座的内部固定连接有减震弹簧,所述减震弹簧的端部固定连接有下料座,所述下料座的内部固定连接有延长柱,所述延长柱的一端固定连接有连接底座,所述连接底座的内部设置有清理装置,所述倾斜底座位于下料座的下方设置有下料组件。本实用新型通过清理装置达到对下料座内部进行清理的效果,避免浇筑料长期堆积在下料座内导致凝固的问题,推动时进行张开刮除清理,拉回时进行转动收缩,达到避免将下料座内部的浇筑液带回的效果,利用下料组件在浇筑液进行下料时震动抖实,将浇筑液抖动散开下料,达到分离浇筑液与空气的效果。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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