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实用新型
已授权
一种节能高效的银靶材浇筑组件
📄 申请号:CN202121848163.7
📄 发布日:2026/08/13
著录项目信息
申请日
2021-08-09
公开号
CN218050196U
公开日
2022-12-16
申请人
澜晶科技(沈阳)有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
B22C9_22
IPC 分类号
B22C9_22
,
C23C14_34
,
技术画像
所属领域
靶材制备
靶材制备
金属浇筑
溅射靶材
应用场景
半导体制造, 光伏产业, 显示面板, 磁控溅射镀膜
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摘要
本实用新型涉及浇筑技术领域,具体为一种节能高效的银靶材浇筑组件,包括倾斜底座,所述倾斜底座的内部固定连接有减震弹簧,所述减震弹簧的端部固定连接有下料座,所述下料座的内部固定连接有延长柱,所述延长柱的一端固定连接有连接底座,所述连接底座的内部设置有清理装置,所述倾斜底座位于下料座的下方设置有下料组件。本实用新型通过清理装置达到对下料座内部进行清理的效果,避免浇筑料长期堆积在下料座内导致凝固的问题,推动时进行张开刮除清理,拉回时进行转动收缩,达到避免将下料座内部的浇筑液带回的效果,利用下料组件在浇筑液进行下料时震动抖实,将浇筑液抖动散开下料,达到分离浇筑液与空气的效果。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种银坯饼加工用压印机构
当前第 / 件
一种节能型银靶材的晶粒辊压细化装置
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