发明专利已授权

分布式质量块结构MEMS压阻式加速度传感器芯片

📄 申请号：CN202110244983.3 📄 发布日：2025/12/10

著录项目信息

申请日

2021-03-05

公开号

CN112834782B

公开日

2024-08-30

申请人

陕西理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01P15_08

IPC 分类号

G01P15_08 , G01P15_12 ,

技术画像

所属领域

MEMS传感器 MEMS传感器压阻式传感器微机械加工

应用场景

汽车电子, 工业自动化, 消费电子, 惯性导航, 结构健康监测

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摘要

本发明公开了一种分布式质量块结构MEMS压阻式加速度传感器芯片，包括硅质基底和棚玻璃体；硅质基底内布置有四个悬空质量块；四个悬空质量块之间通过四根扭转梁连接形成正方形；扭转梁和悬空质量块朝向棚玻璃体的一面平齐，扭转梁位于悬空质量块的中轴线上；四个悬空质量块朝向硅质基底相对的两个内侧壁的侧壁，分别通过四根支撑梁与硅质基底的内侧壁连接；四个悬空质量块朝向硅质基底相对的另两个内侧壁的侧壁，分别通过四根敏感梁与硅质基底的内侧壁连接；支撑梁、敏感梁和悬空质量块远离棚玻璃体的一面平齐，支撑梁和敏感梁均位于悬空质量块的中轴线上。本发明可以从理论上消除传感器的横向交叉干扰，且加工更为容易，方便批量化生产。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种图像法螺纹牙型角求解方法

当前第 / 件

一种六维力传感器标定装置及标定方法

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