发明专利已授权

一种利用微波等离子体焊接金刚石真空窗口的方法

📄 申请号：CN201510824068.6 📄 发布日：2025/11/14

著录项目信息

申请日

2015-11-24

公开号

CN105252099A

公开日

2016-01-20

申请人

河南神州灵山新材料有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B23K3_04

IPC 分类号

B23K3_04 , B23K1_19 , B23K103_18 ,

技术画像

所属领域

微波等离子体焊接微波等离子体焊接金刚石材料连接真空器件制造

应用场景

真空电子器件, 高功率微波窗口, 粒子加速器, 同步辐射光源, 半导体制造设备

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摘要

本发明涉及金属与金刚石焊接领域。一种利用微波等离子体焊接金刚石真空窗口的方法，其特征在于包括如下步骤：第一步，将金属法兰和金刚石窗口清洗；第二步，金属法兰和金刚石窗口分别涂上焊料，然后将涂有焊料的面接触叠放，得到试样；第三步，试样放入焊接腔中的基片台上，然后对焊接腔进行抽真空，调节基片台的位置使试样表面低于屏蔽圆筒的上端面；第四步，使气体吸收微波能量产生等离子体；第五步，调节基片台的高度使样品快速接触微波等离子体；第六步，焊接完成后，得到试件；真空冷却，去真空并取出焊接完成的试件，整个焊接工作完成。该方法显著提高焊接质量与稳定性，提高金属与金刚石的焊接效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20240227

?? 专利权的转移：

20170711

✅ 授权

20160217

?? 实质审查的生效：

20160120

📄 公开

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