发明专利已授权

用于单晶炉的水冷热屏装置

📄 申请号：CN201811472042.X 📄 发布日：2026/06/26

著录项目信息

申请日

2018-12-04

公开号

CN109554753B

公开日

2023-12-12

申请人

佛山圣哥拉太阳能科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C30B29_06

IPC 分类号

C30B29_06 , C30B15_00 ,

技术画像

所属领域

晶体生长设备晶体生长设备单晶硅制备热场控制

应用场景

单晶硅生产, 光伏硅片制造, 半导体材料制备, 晶体生长炉热场优化

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摘要

本发明提供的一种用于单晶炉的水冷热屏装置，包括进水管、出水管及水冷套，所述水冷套内设有水冷流道，所述进水管及出水管与所述水冷流道连通，该水冷热屏装置设置于所述单晶炉内液面上方，所述水冷套朝向所述液面一端连接有传热部件，所述传热部件与所述水冷套之间形成有具有临界温度的导热路径，所述临界温度小于所述水冷套朝向所述液面一端的材质熔点，当所述导热路径达至临界温度时，所述导热路径呈断开状态；通过应用有传热部件，使本发明的水冷热屏装置相比传统水冷热屏的应用，能使单晶生长速度进一步提高；同时能避免发生硅液熔穿水冷套导致单晶炉内的反应爆炸事故。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20231212

✅ 授权

20190426

?? 实质审查的生效：

20190402

📄 公开

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：29 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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