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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN201811472042.X | 专利名称: | 用于单晶炉的水冷热屏装置 |
申请日: | 2018-12-04 | 申请/专利权人 | 佛山圣哥拉太阳能科技有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 广东省佛山市南海区桂城街道简平路1号天安南海数码新城1栋1110室自编号之一室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | C30B29/06 分类检索 |
公开/公告日: | 2023-12-12 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN109554753B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
浏览量: | 5 | 所属领域: | 半导体材料制备设备 单晶生长技术 热场控制专利转让搜索 |
应用场景:单晶硅棒制备过程中的温度均匀性控制;晶体生长设备热防护;光伏级单晶硅生产
摘 要:本发明提供的一种用于单晶炉的水冷热屏装置,包括进水管、出水管及水冷套,所述水冷套内设有水冷流道,所述进水管及出水管与所述水冷流道连通,该水冷热屏装置设置于所述单晶炉内液面上方,所述水冷套朝向所述液面一端连接有传热部件,所述传热部件与所述水冷套之间形成有具有临界温度的导热路径,所述临界温度小于所述水冷套朝向所述液面一端的材质熔点,当所述导热路径达至临界温度时,所述导热路径呈断开状态;通过应用有传热部件,使本发明的水冷热屏装置相比传统水冷热屏的应用,能使单晶生长速度进一步提高;同时能避免发生硅液熔穿水冷套导致单晶炉内的反应爆炸事故。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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