专利名称:用于单晶炉的水冷热屏装置
申请号:201811472042X
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法律状态:已下证
类型:发明
关键词:半导体材料制备设备 单晶生长技术 热场控制
相似专利
发布日:2025/10/11
应用场景:单晶硅棒制备过程中的温度均匀性控制;晶体生长设备热防护;光伏级单晶硅生产
专利名称:一种带有泄压结构的单晶炉炉盖
申请号:2023217882028
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体材料制备设备 晶体生长设备
相似专利
发布日:2025/09/22
应用场景:单晶硅等晶体材料生长过程中的压力控制;高温工艺环境下的安全泄压;光伏或半导体制造中的单晶炉改进
专利名称:一种带有清扫结构的单晶炉副室
申请号:2023217027326
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体材料制备设备 晶体生长设备
相似专利
发布日:2025/09/22
应用场景:单晶硅等材料生产中的副室清洁维护;防止杂质污染影响晶体生长质量
专利名称:一种高寿命低变形率石英坩埚及其制备方法
申请号:2021115780307
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法律状态:已下证
类型:发明
关键词:半导体材料制备设备 石英制品加工技术 高温熔融容器设计
相似专利
发布日:2025/09/08
应用场景:单晶硅拉制工艺中的熔料承载装置;光伏产业多晶硅定向凝固成型;半导体级高纯度材料提纯处理;连续铸造用长寿命耐蚀器皿