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| 专利/申请号： | CN201810865024.1 | 专利名称： | 图像传感器的形成方法 |
| 申请日： | 2018-08-01 | 申请/专利权人 | 德淮半导体有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | H01L27/146 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2018-11-13 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN108807445A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 3 | 所属领域： | 专利转让搜索 |
摘 要：一种图像传感器的形成方法，包括：提供半导体衬底，在所述半导体衬底的表面依次形成第一牺牲层以及第二牺牲层，其中，所述半导体衬底包括逻辑区域与像素区域；采用第一刻蚀工艺对所述第二牺牲层、第一牺牲层以及所述半导体衬底进行刻蚀，以在所述逻辑区域与像素区域形成STI沟槽；在所述逻辑区域，采用第二刻蚀工艺对所述STI沟槽底部的半导体衬底进行二次刻蚀，以形成STI延伸沟槽；去除所述第二牺牲层；向所述STI延伸沟槽以及所述STI沟槽内填充介质材料。本发明方案有助于避免在后续采用刻蚀工艺形成栅极结构时，在像素区域发生多晶硅残留的问题，或者在逻辑区域发生多晶硅过刻蚀的问题，提高图像传感器的性能。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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